HEPA [일반/고온] Filter
본문
사진 HEPA 3 |
■ High Efficiency Particulate Air Filter
• DOP 0.3㎛ Particles Efficiency 99.97% 이상 포집.
■ 특성 및 용도
• 최고 사용온도 350℃에서 0.3µm 입자를 99.97% 이상 포집.
• 고온용의 경우, 충격에 주의를 요하며 급격한 변화 없이 일정한 사용 온도 유지 요함.
• 초 LSI공장, 전자산업, 원자력시설, 광학기계 등에 사용함.
• 반도체 산업, 의약품, Clean Oven에 사용함.
■ 사용재료 및 사용조건 [일반]
구 분 | 재료 및 사용조건 |
FRAME | Aluminium, Wood, Stainless Steel |
MEDIA | Glass Fiber |
SEPARATOR | Aluminium, Paper |
SEALANT | Urethane |
GASKET | Neoprene, EPDM |
최고사용온도 | 80℃ |
최고사용습도 | 100% RH |
■ 사용재료 및 사용조건 [고온]
구 분 | 재료 및 사용조건 |
FRAME | Stainless Steel |
MEDIA | Glass Fiber |
SEPARATOR | Aluminium |
SEALANT | High Temp. Urethane, Silicon Cement |
GASKET | High Temp. Rubber |
최고사용온도 | 250℃. 350℃ |
최고사용습도 | 100% RH |
■ 표준사양
구 분 | 모 델 | 규 격(mm) (H×W×D) | 풍 량 (CMM) | 압력손실(mmAq) | |
초기 | 말기 | ||||
표 준 | YH6607 | 610×610×75 | 9 | 25.4 | 50 |
YH6707 | 610×762×75 | 12 | |||
YH6907 | 610×915×75 | 16 | |||
YH61207 | 610×1220×75 | 21 | |||
YH631 | 610×305×150 | 8 | |||
YH661 | 610×610×150 | 17 | |||
YH671 | 610×762×150 | 25 | |||
YH691 | 610×915×150 | 31 | |||
YH6121 | 610×1220×150 | 39 | |||
YH332 | 305×305×292 | 7 | |||
YH632 | 610×305×292 | 14 | |||
YH662 | 610×610×292 | 33 | |||
YH672 | 610×762×292 | 45 | |||
YH692 | 610×915×292 | 56 | |||
다풍량 | YHS6607 | 610×610×75 | 14 | ||
YHS6707 | 610×762×75 | 18 | |||
YHS6907 | 610×915×75 | 24 | |||
YHS61207 | 610×1220×75 | 31 | |||
YHS631 | 610×305×150 | 12 | |||
YHS661 | 610×610×150 | 28 | |||
YHS671 | 610×762×150 | 36 | |||
YHS691 | 610×915×150 | 46 | |||
YHS6121 | 610×1220×150 | 59 | |||
YHS632 | 610×305×292 | 22 | |||
YHS662 | 610×610×292 | 50 | |||
YHS672 | 610×762×292 | 62 | |||
YHS692 | 610×915×292 | 76 |